常規(guī)結(jié)構(gòu)的SiC紫外傳感器主要用于工業(yè)領(lǐng)域紫外輻射劑量的測(cè)量。但是,對(duì)于許多核心和新興應(yīng)用領(lǐng)域,人們需要實(shí)現(xiàn)的是對(duì)極微弱紫外信號(hào)的快速測(cè)量。這就意味著所用半導(dǎo)體紫外傳感器器必須具有強(qiáng)烈的增益,滿足這一要求的理想器件唯有SiC紫外雪崩光電探測(cè)器(APDs)。高性能的APDs可具有納秒量級(jí)的響應(yīng)速度、1e6以上的增益,甚至可在單光子探測(cè)模式下(Geiger模式)工作。
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